隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，制程中產(chǎn)生的大量廢水對環(huán)境造成了嚴重威脅。為了減少水資源消耗并保護生態(tài)環(huán)境，開發(fā)高效的半導(dǎo)體制程廢水處理與回用技術(shù)顯得尤為重要。本文依斯倍將介紹一種適用于半導(dǎo)體制程廢水處理及回用的工藝。

工藝流程概述

1. 預(yù)處理階段

  - 格柵過濾：首先使用細格柵去除較大的懸浮物和雜質(zhì)。

  - 調(diào)節(jié)池：通過調(diào)節(jié)池均衡水量和水質(zhì)，確保后續(xù)處理單元穩(wěn)定運行。

2. 化學(xué)沉淀

  - 在調(diào)節(jié)后的廢水中加入化學(xué)藥劑（如氫氧化鈉、硫酸亞鐵等），促使重金屬離子形成不溶性化合物沉淀下來，并通過沉降分離。

3. 混凝-絮凝過程

  - 添加混凝劑（如聚合氯化鋁）和絮凝劑（如聚丙烯酰胺），促進細小顆粒聚集形成大顆粒絮體，便于后續(xù)分離。這是半導(dǎo)體制程廢水處理常用的方法之一。

4. 膜分離技術(shù)

  - 微濾/超濾：采用微濾或超濾膜去除大部分懸浮固體和膠體物質(zhì)。

  - 納濾/反滲透：進一步去除溶解的鹽類和其他有機污染物，提高水質(zhì)純度。

5. 離子交換

  - 使用離子交換樹脂去除特定類型的離子，特別是對于要求極高的純水需求場景，如半導(dǎo)體制造中的某些工序。

6. 活性炭吸附

  - 利用活性炭強大的吸附能力去除殘留的有機污染物和微量有害物質(zhì)，確保出水質(zhì)量滿足嚴格標(biāo)準。

7. 消毒處理

  - 最后一步是對處理后的水進行消毒處理，常用的方法包括紫外線消毒或臭氧消毒，以消滅潛在的微生物污染。

8. 水質(zhì)監(jiān)測與調(diào)整

  - 整個過程中持續(xù)監(jiān)控關(guān)鍵水質(zhì)參數(shù)（如pH值、電導(dǎo)率、TOC等），根據(jù)實際情況調(diào)整操作條件，保證最終出水質(zhì)量符合再利用的標(biāo)準。

通過實施上述半導(dǎo)體制程廢水處理回用工藝，不僅可以大幅降低新鮮水的使用量，減少企業(yè)運營成本，同時也能有效減輕對環(huán)境的壓力，提升企業(yè)的社會責(zé)任形象。值得注意的是，實際應(yīng)用時應(yīng)考慮具體廢水成分和當(dāng)?shù)胤ㄒ?guī)要求，靈活調(diào)整各環(huán)節(jié)的操作參數(shù)，以達到最佳處理效果。此外，不斷優(yōu)化和創(chuàng)新處理技術(shù)，推動綠色制造的發(fā)展，是未來努力的方向。